ミクロンレベル構造

MEMSとは、微小電気機械システム（Micro Electro Mechanical System）の略称です。その名の通り、微小な電気機械システムであり、半導体チップ上に機械的構造を組み込んでいます。この技術により、極めて小型かつ高性能なセンサー、アクチュエータ、マイクロチップなどのデバイスを製造することが可能になりました。MEMSは、その小型さと低消費電力、高性能、そして低価格といった特徴から、さまざまな産業分野で幅広く利用されています。